สถานที่กำเนิด:
จีน
ชื่อแบรนด์:
KACISE
ได้รับการรับรอง:
CE
หมายเลขรุ่น:
KGD-MQ-537
เซ็นเซอร์ก๊าซอินฟราเรด KGD-MQ-537 ใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดแบบไม่กระจายตัว (NDIR) เพื่อตรวจวัดก๊าซอย่างแม่นยำ รวมถึง SiF4, CF4, SF6, NF3 และ CO2 ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ ออกแบบมาให้เข้ากันได้กับขนาดอุปกรณ์ หน้าแปลน และโปรโตคอลการสื่อสารทั่วไป เซ็นเซอร์นี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุดในกระบวนการสะสมและทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ เช่นเดียวกับการตรวจจับเทอร์มินัลสำหรับการทำความสะอาดห้องเพาะเลี้ยง ซึ่งช่วยลดเวลาในการทำความสะอาด ลดต้นทุน และเพิ่มการผลิต
| พารามิเตอร์ | รายละเอียด |
|---|---|
| หลักการตรวจจับ | นดีอาร์ |
| ตรวจพบก๊าซ | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| ช่วงการวัด | 1-264ppm (0-200mTorr) |
| การทำซ้ำ | ±0.5% |
| ความเป็นเชิงเส้น | ±1% เอฟเอส |
| ขีดจำกัดการตรวจจับ | 1 ppm |
ส่งข้อสอบของคุณตรงมาหาเรา