สถานที่กำเนิด:
จีน
ชื่อแบรนด์:
KACISE
ได้รับการรับรอง:
CE
หมายเลขรุ่น:
KGD-MQ-537
| คุณสมบัติ | มูลค่า |
|---|---|
| หลักการตรวจจับ | NDIR |
| ก๊าซที่พบ | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| ระยะวัด | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| ความซ้ํา | ± 0.5% |
| ความเป็นเส้นตรง | ± 1% F.S. |
| ขีดจํากัดการตรวจพบ | 1ppm |
เครื่องตรวจจับก๊าซอินฟราเรด KGD - MQ - 537 ใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดไม่กระจาย (NDIR) สามารถวัดก๊าซอย่างแม่นยํา เช่น SiF4, CF4, SF6, NF3,และ CO2 ที่เกิดจากการใช้งานในครึ่งตัวนํา. มันเข้ากันได้กับมิติที่กําหนดไว้ล่วงหน้าทั่วไป, แฟลนจ์, และโปรโตคอลการสื่อสารภายในอุปกรณ์. มันสามารถใช้ในการตรวจจับจุดปลายในกระบวนการฝากและทําความสะอาดครึ่งประสาทรวมถึงการตรวจจับปลายสําหรับการทําความสะอาดห้องช่วยลดเวลาทําความสะอาด ลดค่าใช้จ่าย และเพิ่มผลิต
| ปริมาตร | รายละเอียด |
|---|---|
| หลักการตรวจจับ | NDIR |
| ก๊าซที่พบ | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| ระยะวัด | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| ความซ้ํา | ± 0.5% |
| ความเป็นเส้นตรง | ± 1% F.S. |
| ขีดจํากัดการตรวจพบ | 1ppm |
ส่งข้อสอบของคุณตรงมาหาเรา
